快速退火炉是一个简单稳定的热处理系统，采用进口红外线加热管加热，造型新颖结构合理，炉体和炉管可以自由滑动，可实现快速升降温。炉管内尺寸130MM，可以直接放下5英寸的材料。试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完成生产工艺的同时，也大大降低了间接污染试样的可能性。
主要功能和特点：
1、可视化7寸触摸屏，设定数据和操作都是图文界面，操作方便；
2、炉体配备高精度移动平台，运行平稳无抖动；
3、炉管可自由移动，且密封法兰之间用搭扣压紧连接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能；减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能；当炉管移出炉膛时冷确风扇启动，可实现试样的迅速降温，满足材料骤冷骤热的实验要求；
4、炉膛采用进口多晶纤维真空吸附制成，采用进口红外线加热管加热，使用寿命可达5000小时，升温速度快，最高温度可达1050℃。
5、预留了真空、气路快速接口，可配合我司真空系统、混气系统使用；
6、预留了485转换接口，可通过我司专用软件，与计算机互联，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能；
7、设置超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠。
快速退火炉应用领域：
1、离子注入/接触退火；
2、快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
3、可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用；
4、SiAu,SiAl,SiMo合金化；
5、低介电材料；
6、晶体化，致密化；
7、太阳能电池片键合。
时间：2022-05-23
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